以光速运输晶圆的同时保持安全性和性。

感光表面无污染、动作轻柔、笛卡尔工作区域覆盖面广－Festo H型高速门架系统为复杂的晶圆处理提供了良好的解决方案。

不仅如此，它还是一个获奖者。该智能高速处理单元因其出色的光伏生产技术奖获得了2010太阳能大奖。 

空气轴承ATBT是用于搬运平板显示器和光伏基板的产品。

空气轴承ATBT 特别适用于扁平产品的运输以及传送领域内几乎任何一种任务。无论是装载和卸载，作为中间缓冲用于提升和定位，用真空保持和夹紧物品，或用于检测检验设备，的X-Y 轴向运动系统或光刻设备-- 空气轴承都是运输系统的*选择。

该系统的关键在于空气轴承通过空气缓冲实现无接触工作，同时在静止状态，几乎不消耗任何压缩空气。均匀的气流确保了zui大的精度，并缩短循环时间。总的来说，空气轴承ATBT结构紧凑，节省空间，而且客户可自定义其长度。

VUVG是标准阀的新基准。它*根据Festo“考虑更全面，树立新标准”的原则进行研发，并在流量和尺寸之间寻求到*的平衡点。VUVG以易于安装为基本原理，包含外加螺丝以及密封件上的附加锁。由于使用了电源连接件，具有大量的派生型可供选择，的阀芯密封技术使VUVG阀持久耐用。

SNEC第五届（2011）太阳能光伏大会暨FESTO（上海）展览会